ウェーハをインライン検査する画期的な技術（動画あり） │ 連続走行しているウェーハをインライン検査する画期的な技術をご紹介します。超音波で微振動する石英ガラス板でウェーハを非接触搬送させます。ガラスの下にカメラをセットします。走行するウェーハ裏面をインラインでガラスごしに検査します。