ソーラーウェーハを超音波で非接触移載する技術 │ 超音波でソーラーウェーハ（太陽電池PVセル）を非接触把持・非接触チャックする技術があります。ベルヌーイチャックや静電チャックとは全く異なる原理です。薄く繊細なソーラーウェーハを最小限の負荷でチャックして移載します。