ウエハチップを非接触で吸着・移載するコレット │ ウェーハチップ・ICチップを非接触吸着して移載する技術です。コレットはバキューム力でウェーハチップを引き寄せ、同時に超音波が反発力を生成することで非接触にします。ロボットに持たせてチップを移載するコレットにすることができます。