超音波でウェーハチップを非接触で移載（動画あり） │ 超音波の力を応用してウェーハチップ・ICチップを非接触でチャックして移載する技術があります。ベルヌーイチャックや静電チャックとは全く異なる原理です。薄く繊細なウエハチップに余計な負荷を与えずにチャックして移載することができます。